| Код# | 542-310 |
|---|---|
| Путешествие на рабочем этапе | 355x125 мм |
| X/y-ось путешествие | 200x120 мм |
| Z Ось | 110 мм |
| Точность измерения | ≤3+l/200um |
| Код# | 542-310 |
|---|---|
| Путешествие на рабочем этапе | 355x125 мм |
| X/y-ось путешествие | 200x120 мм |
| Z Ось | 110 мм |
| Точность измерения | ≤3+l/200um |
| Код# | 512-400 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 455х126 мм |
| Путешествие на рабочем этапе | 300х150 мм |
| Фокусировка | 120 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |
| Код# | 512-400 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 455х126 мм |
| Путешествие на рабочем этапе | 300х150 мм |
| Фокусировка | 120 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |
| Код# | 512-400 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 455х126 мм |
| Путешествие на рабочем этапе | 300х150 мм |
| Фокусировка | 120 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |
| Код# | 512-350 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 355х126 мм |
| Путешествие на рабочем этапе | 200x100mm |
| Фокусировка | 90 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |
| Код# | 512-350 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 355х126 мм |
| Путешествие на рабочем этапе | 200x100mm |
| Фокусировка | 90 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |