| Код # | 522-280G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | 0.1um |
| Точность оси XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Код # | 522-420G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | 0.5um |
| Точность оси XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Код # | 524-220H |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (400*300)мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| X/Y/Z 3 оси Линейная шкала ((мм) | Разрешение: 0,5 мм |
| Повторяемость | 2um |
| Код # | 524-220H |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (400*300)мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| X/Y/Z 3 оси Линейная шкала ((мм) | Разрешение: 0,5 мм |
| Повторяемость | 2um |
