| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Код # | 502-120G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Размер (WxDxH) | (1237*740*1664) мм |
| Вес | 380 кг |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Код # | 529-120G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| X/Y/Z 3 оси Линейная шкала ((мм) | Разрешение: 0,5 мм |
| Точность оси XY | ≤2,5+L/200 ((um) |