| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Код # | 821-221 |
|---|---|
| Цель | 10×, 40× |
| ввод данных | Автоматический |
| Башня | Автоматический |
| Максимум. Высота образца | 170 мм |
| Код # | 821-261 |
|---|---|
| Цель | 10×, 40× |
| ввод данных | Автоматический |
| Башня | Автоматический |
| Максимум. Высота образца | 170 мм |
| Код # | 821-281 |
|---|---|
| Цель | 10 раз, 20 раз |
| ввод данных | Автоматический |
| Башня | Автоматический |
| Максимум. Высота образца | 170 мм |
| Диапазон измерения | φ100mm |
|---|---|
| Точность | ±1,5 мкм |
| Мощность | 5 кг |
| Повторяемость | ± 1,5 мкм |
| Минимальная единица | 0.1μm |
| Диапазон измерения | 115*145*75 мм |
|---|---|
| Точность | ±1,5 мкм |
| Мощность | 5 кг |
| Повторяемость | ± 1,5 мкм |
| Минимальная единица | 0.1μm |
| Диапазон измерения | 215*145*75 мм |
|---|---|
| Точность | ±1,5 мкм |
| Мощность | 5 кг |
| Повторяемость | ± 1,5 мкм |
| Минимальная единица | 0.1μm |
| Код # | 882-121 |
|---|---|
| Буквы и цифры | 160*80*31 мм |
| Вес | 0.5 кг ((Без зонды) |
| Нагружая сила | Ручной зонд 2Kgf HP-2K |
| Индентер | 136°Викерс Диамантный индентер |