| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Код # | 525-020P |
|---|---|
| Гранитный этап | (310*220) мм |
| Стеклянный этап | (179,5*129,5) мм |
| Перемещение по оси X/Y | (150*100) мм |
| Линейные шкалы X/Y | Разрешение: 0,5 мм |
| Код # | 512-350 |
|---|---|
| Размер рабочей стадии | 355х126 мм |
| Путешествия на рабочем этапе | 200x100mm |
| Сосредоточиться | 90 мм |
| Точность | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |