| Код# | 823-170-1010 |
|---|---|
| Метод цифрового ввода | авто |
| Переключатель линзы и индентера | Автотуррет |
| Время пребывания | 1 ~ 60 регулируемых |
| Контроль загрузки | автоматический |
| Код# | 823-170-2005 года |
|---|---|
| нагружая система | автоматический |
| Моторизованная X-Y стадия | Мини-ступенчатый двигатель размером L:180*W:140 мм |
| Удар на X-Y стадии | 50x50 мм |
| Минимальный шаг | 0.625ум |
| Башня | автоматический |
|---|---|
| Код# | 822-340AF |
| Ввод данных | автоматический |
| Максимум. Высота образца | 90 мм |
| Горло прибора | 110 мм |