| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| X/Y/Z 3 оси Линейная шкала ((мм) | Разрешение: 0,5 мм |
| Повторяемость | 2um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Код # | 525-020P |
|---|---|
| Гранитный этап | (310*220) мм |
| Стеклянный этап | (179,5*129,5) мм |
| Перемещение по оси X/Y | (150*100) мм |
| Линейные шкалы X/Y | Разрешение: 0,5 мм |
| Код # | 522-180H |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (400*300)мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | 0.1um |
| Точность оси XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Код # | 522-180J |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (500*400) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | 0.1um |
| Точность оси XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Код # | 522-280G |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | 0.1um |
| Точность оси XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Код # | 500-030 |
|---|---|
| Очки | 0.3X Двойная телецентрическая линза |
| Расстояние деятельности | 110 мм |
| Широкое поле | Ø 30 мм ((28х24) |
| Точность измерений | ±2um |
| Код # | 523-280K |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (600*500) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | Разрешение: 0,1 мм |
| Точность оси XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Код # | 523-180M |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (1500*1200) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | Разрешение: 0,1 мм |
| Точность оси XY | ≤ 3,0+L/200 ((um) |
| Код # | 528-180H |
|---|---|
| Поездка по оси X/Y | (300*400) мм |
| Поездка по оси Z | 200 мм |
| Линейная шкала оси X/Y/Z | Разрешение: 0,1 мм |
| Точность оси XY | ≤1,2+L/200 ((um) |